半導體晶圓制造廠內AMHS（ 自動物料搬送系統 - AMHS Automatic Material Handling System）的搬送一般分為Interbay和Intrabay。
捷螺系統針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸，即晶圓純運輸機器人負責Interbay，作為工序區間搬送系統；復合型手臂機器人負責Intrabay傳輸及對接機臺作業。兩者可相互對接協作，應用于工序區間或工廠間運輸。更加全面實現全廠物料自動搬運。
【視頻】晶圓生產線多類型AMR協作應用實例
發布時間: 2022-01-05 09:01:30 來源:捷螺系統
核心提示： 捷螺系統針對AMHS通過AMR機器人來解決整廠的物料傳輸。
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